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晶振片基本知識

2019-04-25


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1. 什么是晶振片( Crystal Sensor )

薄薄圓圓的晶振片,來源于多面體石英棒,先被切成閃閃發光的六面體棒,再經過反復的切割和研磨,石英棒最終被做成一堆薄薄的(厚0.23mm,直徑13.98mm)圓片,每個圓片經切邊,拋光和清洗,最后鍍上金屬電極(正面全鍍,背面鍍上鑰匙孔形),經過檢測,包裝就可以出廠使用。晶體的質量和壽命不僅影響速率和厚度測量的準確性,更重要的是還決定著受控制的過程能否成功完成。


2. 晶振片( Crystal Sensor )的工作原理

国内偷拍国内精品视频石英晶體若在晶片的兩側施加機械壓力,則在晶片相應的方向上將產生電場,這種物理現象稱為壓電效應。如果在晶片的兩極上加交變電壓,晶片就會產生機械振動,同時晶片的機械振動又會產生交變電場。


3. 晶振片( Crystal Sensor )的分類

現在市場上常用的有兩種頻點,標稱頻率分別為5.000MHz、6.000MHz,根據膜厚控制儀的探頭設計不同,采用不同的電極形狀。


4. 晶振片( Crystal Sensor )的應用

石英晶振片是晶振膜厚控制儀系統中的速率和厚度傳感元件。這些晶體用于所有標準監控器或控制器以及單、雙或多晶體傳感器的真空應用


5. 晶振片( Crystal Sensor )的電極材料

国内偷拍国内精品视频晶振片的電極對膜厚監控至關重要,目前市場上提供三種標準電極材料:金、銀和合金。 用戶所鍍的材料不同,需選用不同的電極材料国内偷拍国内精品视频。

金:是最廣泛使用的傳統材料,它具有低接觸電阻,高化學穩定性,易于沉積。適合于鍍低應力膜料,如鍍Al Au Ag Cu。

銀:適合于鍍高應力膜料,如Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不銹鋼等。

銀鋁合金:適合于鍍介質光學膜,MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2等膜料。


6. 晶振片( Crystal Sensor )膜厚監控原理

石英晶體法監控膜厚,主要是利用了石英晶體的壓電效應和質量負荷效應。當晶振片上鍍了某種膜層,使晶振片的厚度增加,則晶振片的固有頻率會相應的變化。

晶體的基頻越高,控制的靈敏度也越高,但基頻過高時,晶體片會做得很薄,很薄的晶體片易碎,一般選用AT切型頻率5~10MHz。采用AT切晶體片,其振動頻率對質量的變化極其靈敏,但卻不敏感于溫度的變化,具有精度高、靈敏度好等獨特的優勢,非常適合于真空薄膜淀積中的膜厚監控。


7. 晶振片( Crystal Sensor )再利用

国内偷拍国内精品视频(1)銀或銀鋁合金溶于各種酸,不適合再處理利用,必需徹底除去晶振片上的膜層和電極,重新寄回我司鍍上電極。

(2)金不溶于硫酸,用戶可以自已進行處理,去掉晶振片上膜層,清洗干凈再利用,但重復利用次數不易太多,否則質量穩定性降低影響使用。


8.晶振片清洗配方: 

国内偷拍国内精品视频20%氟化氫銨水溶液,浸泡6小時以上,浸泡后投入酒精擦拭,去水即可。


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