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線性漸變濾光片簡介

2020-02-13

線性漸變濾光片(LVOF)是繼棱鏡、光柵以及近期發展的多種分光元件之后發展起來的一種新型分光元件,它與棱鏡、光柵等傳統的分光元件相比具有體積小、通帶多、通帶位置可以任意設計等優點。
 

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由于線性漸變濾光片可與CCD/CMOS探測器列陣結合共同構成可識別光譜的探測器,大大簡化分光系統,提高儀器的可靠性、穩定性和光學效率,受到越來越多的關注。以線性漸變濾光片為核心分光元件的光譜儀已經成功應用到航天航空、野外探測、大氣監測、食品安全檢測、生物流體分析和多/高/超光譜成像等多個領域。
在離子束出射窗口和待加工樣片之間,垂直于離子束出射方向放置開有三角形窗口的擋板,離子束刻蝕時,樣片以某一恒定速率來回運動,經過一定的刻蝕次數后,獲得垂直于樣品運動方向上的厚度差異,最終獲得設計的楔形間隔層。


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国内偷拍国内精品视频線性漸變濾光片制備的完整工藝流程如圖。首先,在K9基底上進行第一次鍍膜,將下層膜系和中間諧振腔層鍍好;其次,按上述方法對中間層進行刻蝕,獲得具有一定楔角的楔形諧振腔層;最后,配合第二次鍍膜,即可完成線性漸變濾光片的制備。

濾光片采用了尺寸為80 mm X 10 mm 的K9基片。首先需要完成下層反射膜系以及中間諧振腔層的鍍制。其中反射膜系我們通常采用系數較大,光學性質較穩定的金屬作為金屬膜材料。在紫外區常用的金屬薄材料是鋁,在可見光區常用鋁和銀,在紅外區常用金、銀和銅,此外,鉻和鉑也常作一些特種薄膜的膜料。由于鋁、銀、銅等材料在空氣中很容易氧化而降低性能,所以必須用電介質膜加以保護。常用的保護膜材料有一氧化硅、氟化鎂、二氧化硅、三氧化二鋁等。


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